应急管理部化学品登记中心聚焦离子束双束微纳加工系统更正公告

   日期:2020-01-22     来源:中国政府采购网    作者:电机之家    浏览:3295    评论:0    
核心提示:项目名称:聚焦离子束双束微纳加工系统项目编号:SDZG-01190207 一、项目联系方式:项目联系人:程海政项目联系电话:0532-85722157 二、原公告名称及地址时间等:首次公告日期:202

项目名称:聚焦离子束双束微纳加工系统

项目编号:SDZG-01190207

 

一、项目联系方式:

项目联系人:程海政

项目联系电话:0532-85722157

 

二、原公告名称及地址时间等:

首次公告日期:2020年01月12日

本次变更日期:2020年01月22日

原公告项目名称:应急管理部化学品登记中心聚焦离子束双束微纳加工系统公开招标公告

原公告地址:http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/gkzb/202001/t20200112_13747024.htm

 

三、更正事项、内容:

各投标人:

由我单位组织的聚焦离子束双束微纳加工系统于2020年1月12日在中国政府采购网发出招标公告,现对投标人提出的疑问做如下答复:

问题一:2.2.3电子束

★(1)分辨率:在15 KV优于0.7 nm,30 KV优于0.6 nm;

备注:电子束成像大多数都采用低加速电压条件成像,招标文件只给了15KV和30KV下的分辨率要求,并未给出1KV下的分辨率要求,不能体现低电压下的性能,低电压对不导电非常重要,建议添加上1KV的分辨率,建议将“分辨率:在15 KV优于0.7 nm,30 KV优于0.6 nm”修改为:分辨率:在1 KV优于1.0 nm, 15 KV优于0.7 nm,30 KV优于0.6 nm。

答复:同意增加1KV下分辨率指标,现将本项目原招标文件 “★分辨率:在15KV优于0.7nm,30KV优于0.6nm”修改为“★分辨率:在1KV优于1.0nm,15KV优于0.7nm,30KV优于0.6nm”。

 

问题二:(2)加速电压:0.02kV-30kV,连续可调,无需模式更换;

备注:加速电压0.02kV为蔡司独家指标,且0.02kV下蔡司实际无法给出良好的测试结果,因此建议将“加速电压:0.02kV-30kV”修改为:加速电压:0.2kV-30kV

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“(2)加速电压:0.02kV-30kV······”修改为“加速电压:0.2kV-30kV······”

 

问题三:★(7)样品室内零磁场,保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作,具备实时观察离子束加工的监控功能。

备注:离子束不工作的时候,磁场模式可以显著提高分辨率,提升双束电镜的电镜成像性能,建议此条修改为:具有样品室内零磁场模式,保证电子束离子束可以都能实时同时工作,具备实时观察离子束加工的监控功能。

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“★样品室内零磁场,保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作,具备实时观察离子束加工的监控功能”修改为“★具有样品室内零磁场模式,保证电子束离子束可以都能实时同时工作,具备实时观察离子束加工的监控功能”。

 

问题四:(3)气体注入针尖的移动范围为: X=25mm, Y=25mm, Z=25mm,移动速度:75-750μms-1, 移动精度1μm;

备注:气体注入针尖是在使用过程中非常容易因为人为因素撞弯,目前技术领先的机器设计都是预先设置好的,气体注入的时候,针尖的位置是预先确认好的;上述的针尖移动范围等指标早期设备自动化不高阶段,需要人工干预时期的一些参数,现在自动化更加高的机器,已经不需要再进行这么复杂的设置,所以此条是否可以删除;

答复:删除本条技术要求。

 

问题五:(1)样品室内部尺寸不小于330mm×266mm,配备不少于18个附件接口,2套彩色CCD相机系统;

备注:导航用的CCD相机系统是彩色的,另外一套监控样品离极靴安全高度的是红外的CCD相机,红外CCD相机的成本更高,红外光源的实时监控可以减少可见光对二次电子探测器和被散射探测器的图像干扰,而采用彩色CCD的设备,采集SE/BSE/EDS信号时必须关闭CCD光源。因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为:2套CCD相机系统

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

 

问题六:(2)至少为五轴样品台,为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um;备注:每个厂家重复精度算法不一样,1um是蔡司独家性指标,3um完全能满足使用需求;因此建议将“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为:为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um”。

 

问题七:2.3系统配置要求:2探测器系统:样品室内二次电子探测器、镜筒内主光轴上环形二次电子探测器、气动可抽拉五分割背散射电子探测器、样品束流检测器、2个样品室内彩色CCD相机(同上,因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为:2套CCD相机系统。

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

 

问题八:2.3系统配置要求:6配件系统:原装进口空气冷却式冷却循环水系统、原装进口空气压缩机50Hz / 60Hz、多功能旋钮操作控制面板、不间断电源(可持续1小时)、鱼眼模式(鱼眼模式有变形,是十多年前的技术,而且是蔡司独家的叫法,目的是导航用的,每家都有各自的导航模式,叫法不同,建议将“鱼眼模式”修改为:导航模式)、Windows英文操作系统、计算机及显示器2台

答复:同意修改,现将本项目原招标文件“鱼眼模式”修改为“导航模式”。

 

四、其它补充事宜:

本公告作为招标文件的组成部分之一,与招标文件不一致的以本公告为准。

 

五、联系方式:

采购单位名称:应急管理部化学品登记中心

采购单位地址:青岛市崂山区松岭路339号

采购单位联系方式:尚艳红,0532-83786203

采购代理机构全称:山东中钢招标有限公司

采购代理机构地址:青岛市山东路177号鲁邦广场A座306

采购代理机构联系方式:程海政,0532-85722157

 

 
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